NightN光學(xué)表面形貌測(cè)試儀HION

產(chǎn)品介紹：

光學(xué)測(cè)試儀HION用于光學(xué)表面測(cè)試。該技術(shù)基于 Shack-Hartmann 方法。激光束從被測(cè)光學(xué)表面反射并進(jìn)入 Shack-Hartmann 波前傳感器進(jìn)行進(jìn)一步處理。

產(chǎn)品規(guī)格：

1. 光學(xué)孔徑：10 至 50 mm（可選300 mm）

2. 測(cè)量時(shí)間：10 ms

3. 測(cè)量精度：32 nm (P-V)

4. 測(cè)量偏差：5 μm（P-V）

5. 光源：二極管激光器

6. 光源波長(zhǎng)：0.65 μm

7. CCD/CMOS相機(jī)

結(jié)果輸出：

1. 峰-谷誤差P-V，均方根（RMS）

2. 將像差展開(kāi)為Seidel 和 Zernike 多項(xiàng)式（傾斜、散焦、像散等）

3. 2D 和 3D 波前，干涉條紋