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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>高精度光刻機在大規模集成電路上的應用

高精度光刻機在大規模集成電路上的應用

2011-10-28 | pdf | 779 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

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微細圖形加工技術是集成電路向高集成化發展的關鍵, 其中圖形曝光對準是很主要的。由于接觸式光刻機的精度高、設備造價低, 所以在集成電路制造中被廣泛采用。但是, 隨著大規模集成電路不斷向高集成化、微細化發展又出現了各種問題。

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