電子發(fā)燒友App
創(chuàng)作
發(fā)文章
發(fā)帖 
提問 
發(fā)資料
發(fā)視頻資料介紹
摘要：磁控濺射技術(shù)在薄膜制備領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，電源是磁控濺射鍍膜的關(guān)鍵設(shè)備之一。本文介紹了全橋逆變直流磁控濺射電源主電路和控制電路的設(shè)計(jì)，該電源輸出功率2kW，采用PI恒流控制，具有過流保護(hù)。通過阻性負(fù)載測(cè)試表明電源具有很好恒流特性，在輸出功率超過400W時(shí)電源效率比較高。利用氮?dú)?氬氣不銹鋼靶直流磁控濺射實(shí)際的等離子體負(fù)載測(cè)試表明：在保證真空室內(nèi)壓力不變的前提下，隨著氮?dú)獗壤脑黾?，電壓下降，但電源恒流效果好，工作穩(wěn)定。
關(guān)鍵詞：磁控濺射；電源；全橋變換；恒流
關(guān)鍵詞：磁控濺射；電源；全橋變換；恒流
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 举报投诉
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 采用增強(qiáng)型航天塑料的 耐輻射電源電壓監(jiān)控器TL7700-SEP數(shù)據(jù)表
- 三極管的輸出特性
- 直流穩(wěn)壓電源的輸出特性有哪些
- 半導(dǎo)體激光器輸出特性的影響因素 21次下載
- 激光器的輸出特性及其相關(guān)知識(shí)詳述 9次下載
- 海為PLC在智能電源控制上的應(yīng)用 7次下載
- 影響單晶硅太陽電池輸出特性的因素 1次下載
- AnsoftMaxwell電磁場(chǎng)分析在短路匝傳感器輸出特性中的應(yīng)用 0次下載
- 非均勻輻照下TCT結(jié)構(gòu)光伏陣列輸出特性研究 1次下載
- 易控組態(tài)軟件在磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線監(jiān)控系統(tǒng)中的應(yīng)用
- 應(yīng)用于磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的計(jì)算機(jī)監(jiān)控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
- 非平衡磁控濺射系統(tǒng)磁場(chǎng)的半解析法
- 離子束濺射鍍膜機(jī)電源的研制
- 磁控濺射WO3薄膜特性研究
- 負(fù)反饋和最大不失真輸出特性
- TEM樣本制備：透射電子顯微鏡技術(shù)指南 231次閱讀
- UPS電源＂十全十測(cè)＂2：帶載輸出特性測(cè)試 285次閱讀
- ATA-4052C高壓功率放大器在二維壓電平臺(tái)研究中的應(yīng)用 664次閱讀
- 功率放大器在重力輔助式Z自由度壓電慣性雙向平順驅(qū)動(dòng)研究中的應(yīng)用 315次閱讀
- 二極管的輸出特性曲線分析 2601次閱讀
- 光伏電池在陰影影響下功率特性研究 975次閱讀
- 什么是磁控濺射 磁控濺射原理 1.1w次閱讀
- 光電耦合器構(gòu)造及輸入/輸出特性 6923次閱讀
- CMOS器件的電流電壓輸入和輸出特性的分析 1w次閱讀
- OEP30W音頻放大芯片的輸出特性和溫度特性測(cè)試方案 2969次閱讀
- 磁控濺射鐵磁性靶材的主要方法 9029次閱讀
- 分析電源適配器的輸入輸出特性 6027次閱讀
- 直流脈寬調(diào)制(PWM)變換器 8657次閱讀
- LED和ITO之間有什么關(guān)系？如何增強(qiáng)LED的透明導(dǎo)電性？ 8252次閱讀
- 通過改進(jìn)算法對(duì)光伏組件內(nèi)部參數(shù)進(jìn)行準(zhǔn)確辨識(shí)，并對(duì)外部輸出特性進(jìn)行預(yù)測(cè) 8474次閱讀
上傳資料賺積分 广告![]()
下載排行
本周
- 1電子電路原理第七版PDF電子教材免費(fèi)下載
- 0.00 MB | 1490次下載 | 免費(fèi)
- 2單片機(jī)典型實(shí)例介紹
- 18.19 MB | 93次下載 | 1 積分
- 3S7-200PLC編程實(shí)例詳細(xì)資料
- 1.17 MB | 27次下載 | 1 積分
- 4筆記本電腦主板的元件識(shí)別和講解說明
- 4.28 MB | 18次下載 | 4 積分
- 5開關(guān)電源原理及各功能電路詳解
- 0.38 MB | 11次下載 | 免費(fèi)
- 6100W短波放大電路圖
- 0.05 MB | 4次下載 | 3 積分
- 7基于AT89C2051/4051單片機(jī)編程器的實(shí)驗(yàn)
- 0.11 MB | 4次下載 | 免費(fèi)
- 8基于單片機(jī)的紅外風(fēng)扇遙控
- 0.23 MB | 3次下載 | 免費(fèi)
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費(fèi)
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下載
- 0.00 MB | 66304次下載 | 免費(fèi)
- 3protel99下載protel99軟件下載(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下載 | 免費(fèi)
- 4LabView 8.0 專業(yè)版下載 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下載 | 免費(fèi)
- 5555集成電路應(yīng)用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33562次下載 | 免費(fèi)
- 6接口電路圖大全
- 未知 | 30320次下載 | 免費(fèi)
- 7Multisim 10下載Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下載 | 免費(fèi)
- 8開關(guān)電源設(shè)計(jì)實(shí)例指南
- 未知 | 21539次下載 | 免費(fèi)
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935053次下載 | 免費(fèi)
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉(zhuǎn)中文版)
- 78.1 MB | 537791次下載 | 免費(fèi)
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420026次下載 | 免費(fèi)
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234313次下載 | 免費(fèi)
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費(fèi)
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費(fèi)下載
- 340992 | 191183次下載 | 免費(fèi)
- 7十天學(xué)會(huì)AVR單片機(jī)與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183277次下載 | 免費(fèi)
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費(fèi)下載)
- 未知 | 138039次下載 | 免費(fèi)
工商網(wǎng)監(jiān)
評(píng)論