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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>介觀壓阻效應在硅微加速度計中的應用

介觀壓阻效應在硅微加速度計中的應用

2009-11-26 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

資料介紹

為了突破傳統機電轉換局限,提高加速度計靈敏度,提出以介觀壓阻效應為工作原理制作高靈敏度的硅微加速度計,基于這種原理設計一種四梁島結構,通過理論分析與仿真計算,得出該結構在1gn輸入下的輸出,并對介觀壓阻靈敏度和壓阻靈敏度的量級作出了比較,從理論上驗證了采用介觀壓阻效應制作高靈敏度傳感器的可行性,為此類加速度計的設計提供參考。
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