離子束刻蝕機 20 IBE-J

型號： 20 IBE-J

--- 產品參數 ---

特點干法物理納米級刻蝕
射頻角度可以任意調整

--- 產品詳情 ---

因產品配置不同, 價格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準
上海伯東日本原裝進口適合大規模量產使用的離子刻蝕機

離子束刻蝕機 IBE 特性:
1. 干法刻蝕, 物理蝕刻, 納米級別的刻蝕精度
2. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀
3. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上,可以在低溫環境下蝕刻.
4. 配置公轉自轉傳輸機構 ”Dry Chuck Planet ”, 使得樣品可以得到比較均勻平滑的表面. 刻蝕均勻性 ≤±5%
5. 幾乎滿足所有材料的刻蝕, IBE 可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料
6. 配置德國 Pfeiffer 分子泵和旋片泵
7. 機臺設計使用自動化的操作流程, 非常友好的使用生產過程

Hakuto 日本原裝設計制造離子束刻蝕機 IBE (離子蝕刻機) 提供 4英寸, 6英寸, 8英寸干法, 納米級別材料的表面刻蝕, 刻蝕均勻性 ≤±5%. 幾乎滿足所有材料的刻蝕. 例如磁性材料, 黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復合半導體材料, 廣泛應用于 RF 射頻器件, MEMS 傳感器, 磁性器件 …, 滿足研發和量產需要. IBE 可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料.

伯東公司超過 50年的離子刻蝕市場經驗, 擁有龐大的安裝基礎和經過市場驗證的刻蝕技術!

若您需要進一步的了解離子束刻蝕機 IBE 詳細信息,

現部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯絡上海伯東葉女士
上海伯東版權所有, 翻拷必究！

為你推薦

產品文章方案

inTEST 芯片高低溫沖擊熱流儀2024-10-18 13:59

產品型號：ATS-535 產地：美國溫度范圍：-60 至+ 225°C 特點：集成空壓機
inTEST BT28 桌面型高低溫沖擊熱流儀2024-09-12 13:56

產品型號：inTEST BT28 溫度范圍：-28° 至 +225°C 溫度顯示和分辨率：+/- 0.1°C
離子束刻蝕機 20 IBE-J2024-09-12 13:51

產品型號：20 IBE-J 特點：干法物理納米級刻蝕射頻角度：可以任意調整
inTEST Sigma M256 高低溫試驗箱2023-12-01 10:58

產品型號：Sigma M256 產地：美國腔室體積：255 L
inTEST Sigma M170 高低溫試驗箱2023-12-01 10:55

產品型號：Sigma M170 產地：美國溫度范圍：-185°C 至 400°C 腔室體積：165 L
inTEST Sigma M58 高低溫試驗箱2023-12-01 10:19

產品型號：Sigma M58 產地：美國寬溫度范圍：-185 °C 至 500°C 腔室體積：59 L
inTEST Sigma M10 高低溫試驗箱2023-12-01 10:06

產品型號：Sigma M10 產地：美國寬溫度范圍：-185°C 至 500°C 腔室體積：10 L
inTEST Sigma 高低溫試驗箱, 溫度環境試驗箱2023-12-01 09:39

產品型號：Sigma 品牌：inTEST 產地：美國溫度范圍：-185°至 +500°C
普發分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13

產品型號：SplitFlow 產地：德國
普發分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09

產品型號：HiPace 80 Neo 產地：德國

Gel-Pak VRP 可變黏度防靜電真空釋放盒2024-10-18 14:19

上海伯東美國 Gel-Pak VRP 真空釋放盒相對于傳統的真空釋放 Vacuum Release 芯片盒, 有著優異的防靜電性能, 但在使用中發現, VRP 的最低黏度 EH02 （對標 VR 的 XL 黏度）在一些特定的應用中存在黏度偏高的問題, Gel-Pak 針對這個問題提出了 VRP 防靜電真空釋放盒可變黏度的解決方法, 滿足高寬深比器件, 微機電

VRP 芯片防靜電
246瀏覽量
氦質譜檢漏儀 ASM 340W 鋰電池蓋帽(蓋板)檢漏系統2024-09-13 10:53

上海伯東氦質譜檢漏儀 ASM 340W 適用于動力電池行業和汽車行業的檢漏系統, 提供鋰電池蓋帽(蓋板)檢漏, 汽車壓縮機真空檢漏解決方案.

動力電池檢漏儀鋰電池
411瀏覽量
KRi 霍爾離子源 EH 2000 望遠鏡鏡片光學鍍膜應用2024-09-13 10:38

上海伯東美國 KRi 大尺寸霍爾離子源 EH 2000 安裝于高性能電子束光學鍍膜機, 實現 300 mm 望遠鏡鏡片鍍膜.

光學鏡片望遠鏡電子束
337瀏覽量
美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀助力半導體芯片研發2024-09-13 10:19

上海伯東代理美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀兼容各品牌半導體測試機, 可正確評估與參數標定芯片開發, 器件或模塊研發, 品質檢查, 第三方認證, 失效分析, FAE 等幾乎所有流程, 高低溫沖擊測試作為一種常見的測試手段, 適用于 IGBT, MOSFET, 三極管, 二極管等各類半導體特性測試.

半導體芯片高低溫測試高低溫測試機
551瀏覽量
離子束刻蝕機物理量傳感器 MEMS 刻蝕應用2024-09-12 13:31

口離子束刻蝕機 IBE 可以很好的解決傳感器 MEMS 的刻蝕難題, 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀, 刻蝕那些很難刻蝕的硬質或惰性材料.

mems 傳感器離子束
445瀏覽量
氦質譜檢漏儀應用于半導體新材料和設備管道檢漏2023-11-09 15:31

上海伯東提供半導體新材料和設備管道檢漏解決方案, 助力企業生產高質量的六氯乙硅烷 Si?Cl?. 六氯乙硅烷廣泛應用于有機硅化合物的合成, 電子半導體材料制造.

半導體新材料設備
390瀏覽量
氦質譜檢漏儀應用于真空鍍膜生產線2023-08-07 14:35

Si3?N4 氮化硅鍍膜系統. 在某次維護之后, 抽真空時只能達到 80 mbar 的壓力. 為了在如此高的工作壓力之下依然能夠進行檢漏, 推薦選用上海伯東氦質譜檢漏儀 ASM 340. ASM 340 檢漏儀特有的定性大漏檢測模式 ( 在 100 hPa 即可進行大漏測試 ) , 借助此模式即可定位存在的漏點.

檢漏儀模式系統
839瀏覽量
Gel-Pak VR真空釋放盒應用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28

50V GaN HMET 芯片采用上海伯東美國 Gel-Pak VR 真空釋放盒進行包裝, Gel-Pak 采用了無殘膠的膜技術, 可以將芯片牢固地固定住, 避免在運輸和儲存過程中因為碰撞等造成芯片的損害.

GaN SiC 芯片
691瀏覽量
inTEST熱流儀邏輯芯片 FPGA高低溫沖擊測試2023-08-07 14:21

FPGA 芯片需要按照 JED22-A104 標準做溫度循環 TC 測試, 讓其經受極端高溫和低溫之間的快速轉換. 一般在?-55℃~150℃ 進行測試, 傳統的環境箱因為升降溫速度受限, 無法滿足研發的快速循環測試需求. 上海伯東美國 inTEST 熱流儀 ATS-710E 變溫速率約 10 s, 實現 FPGA 芯片極端高溫和低溫之間的快速轉換測

FPGA 測試芯片高低溫測試機
1008瀏覽量
上海伯東分子泵應用于 LED 芯片退火合金爐2023-08-07 14:14

LED 芯片退火合金爐屬于真空爐的一種, 需要在真空環境下實現 LED 芯片的退火, 合金, 濕氧氧化, 歐姆電極燒結等工藝. 腔體真空度一般在 10-3 至 10-6 hPa 之間, 上海伯東德國 Pfeiffer 分子泵憑借大抽速,高穩定性廣泛應用于退火合金爐設備.

led 真空泵芯片
716瀏覽量

Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀 CVD 清洗終點優化2024-10-18 13:42

上海伯東日本 Atonarp Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀, 基于四級桿的質量分離, Aston 質譜分析儀設計緊湊, 適用于氣體分析和過程氣體監測, 滿足半導體工藝過程中, 沉積, 刻蝕, 光刻等氣體分析.

CVD 分析儀半導體質譜分析
109瀏覽量
Aston 質譜儀等離子體刻蝕過程及終點監測2024-10-18 13:33

刻蝕是半導體制造中最常用的工藝之一, 上海伯東日本 Atonarp Aston 質譜儀適用于等離子體刻蝕過程及終點監測 (干法刻蝕終點檢測), 通過持續監控腔室工藝化學氣體, 確保半導體晶圓生產的高產量和最大吞吐量.

分析儀半導體監測質譜分析
134瀏覽量
Aston 質譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測2024-10-18 13:24

半導體工藝一般會產生各種工藝氣體和顆粒材料副產品, 有害氣體需要以受控方式進行處理. 上海伯東日本 Atonarp Aston 質譜分析儀與 Scrubber 半導體尾氣處理設備聯用, 對處理完的氣體在線監測分析, 并對分析數據進行監控和記錄, 使其符合環境法規.

分析儀半導體氣體檢測
124瀏覽量
鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜 IBE 離子束刻蝕2024-09-13 10:59

隨著基于鈮酸鋰 LN 的光源, 光調制, 光探測等重要器件的實現, 鈮酸鋰 LN 光子集成芯片有望像硅基集成電路一樣, 成為高速率, 高容量, 低能耗光學信息處理的重要平臺, LiNbO3 薄膜刻蝕成特定的圖形才能用于芯片, 因 LiNbO3 惰性特性, 使用 ICP 或 RIE 工藝無法完成刻蝕, 上海伯東 IBE 離子束刻蝕機為鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜刻蝕提供解決方案

刻蝕機離子束
321瀏覽量
美國 Gel-Pak 應用于 VCSEL 芯片生產2024-09-13 10:28

上海伯東美國 Gel-Pak 提供 VCSEL 芯片生產使用的 DGL 膠膜和真空釋放托盤

VCSEL 芯片
260瀏覽量
美國進口 KRi 考夫曼離子源 KDC 160 硅片刻蝕清潔案例2024-09-13 10:10

上海伯東美國 KRi 大尺寸考夫曼離子源 KDC 160 適用于 2-4英寸的硅片刻蝕和清潔應用, KRi KDC 160 是直流柵網離子源, 高輸出離子束電流超過 1000mA. 高功率光束無需對離子源進行水冷卻即可實現. KDC 160 配備了雙燈絲. 在標準配置下, KDC 160 典型離子能量范圍為 100 至 1200eV, 離子電流可超過 800mA.

電流硅片離子束
248瀏覽量
inTEST 熱流儀車載顯示器高低溫光學測量應用2024-09-12 14:17

通過美國 inTEST ATS-545 熱流儀給車載顯示器升溫或降溫, 測量其在不同溫度下任意點的光學特性, 實現高低溫環境 -40 至 100℃ 下產品的亮度, 色度, 響應時間和可視角度測試.

顯示器高低溫測試機
190瀏覽量
HiCube 80 Eco 分子泵組搭配低溫阻抗測試儀應用2023-12-08 14:29

上海伯東代理德國 Pfeiffer 渦輪分子泵組 HiCube 80 Eco 成功應用于低溫阻抗測試系統, 分析電子元器件在低溫環境下電阻的變化.

測試儀電子元器件
304瀏覽量
SF6 密度繼電器氦質譜檢漏法2023-12-08 14:21

應用于各類電廠, 變電站, 電氣化鐵道等行業的 SF6 六氟化硫密度繼電器, 通過監測密封容器中的 SF6 氣體的密度, 診斷出電氣設備中 SF6 氣體的泄漏, 防止因為 SF6 氣體密度的下降而導致其電氣絕緣能力的下降. 嚴重時會發生閃絡擊穿, 威脅人身設備安全.

儀表密度繼電器繼電器
426瀏覽量
新能源汽車 IGBT 功率器件高低溫沖擊測試2023-12-01 15:48

車用 IGBT 模塊對產品性能和質量的要求要明顯高于消費和工控領域, 需要通過嚴格的車規認證, 汽車 IGBT 模塊測試標準主要參照 AEC-Q101 和 AQG-324, 其中溫度沖擊, 功率循環, 溫度循環, 結溫等是其中重要的測試要求, 功率循環和溫度循環作為代表的耐久測試, 測試循環次數可能從幾萬次到十萬次不等.

IGBT 新能源汽車測試
587瀏覽量

Φ4 inch X 12片	基片尺寸	Φ4 inch X 12片 φ5 inch X 10片 φ6 inch X 8片
	樣品臺	直接冷卻,水冷
	離子源	Φ20cm 考夫曼離子源

衡阳派盒市场营销有限公司

伯東企業（上海）有限公司

離子束刻蝕機 20 IBE-J

--- 產品參數 ---

--- 產品詳情 ---

衡阳派盒市场营销有限公司

伯東企業（上海）有限公司

離子束刻蝕機 20 IBE-J

--- 產品參數 ---

--- 產品詳情 ---

為你推薦

inTEST 芯片高低溫沖擊熱流儀2024-10-18 13:59

inTEST BT28 桌面型高低溫沖擊熱流儀2024-09-12 13:56

離子束刻蝕機 20 IBE-J2024-09-12 13:51

inTEST Sigma M256 高低溫試驗箱2023-12-01 10:58

inTEST Sigma M170 高低溫試驗箱2023-12-01 10:55

inTEST Sigma M58 高低溫試驗箱2023-12-01 10:19

inTEST Sigma M10 高低溫試驗箱2023-12-01 10:06

inTEST Sigma 高低溫試驗箱, 溫度環境試驗箱2023-12-01 09:39

普發分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13

普發分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09

Gel-Pak VRP 可變黏度防靜電真空釋放盒2024-10-18 14:19

氦質譜檢漏儀 ASM 340W 鋰電池蓋帽(蓋板)檢漏系統2024-09-13 10:53

KRi 霍爾離子源 EH 2000 望遠鏡鏡片光學鍍膜應用2024-09-13 10:38

美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀助力半導體芯片研發2024-09-13 10:19

離子束刻蝕機物理量傳感器 MEMS 刻蝕應用2024-09-12 13:31

氦質譜檢漏儀應用于半導體新材料和設備管道檢漏2023-11-09 15:31

氦質譜檢漏儀應用于真空鍍膜生產線2023-08-07 14:35

Gel-Pak VR真空釋放盒應用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28

inTEST熱流儀邏輯芯片 FPGA高低溫沖擊測試2023-08-07 14:21

上海伯東分子泵應用于 LED 芯片退火合金爐2023-08-07 14:14

Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀 CVD 清洗終點優化2024-10-18 13:42

Aston 質譜儀等離子體刻蝕過程及終點監測2024-10-18 13:33

Aston 質譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測2024-10-18 13:24

鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜 IBE 離子束刻蝕2024-09-13 10:59

美國 Gel-Pak 應用于 VCSEL 芯片生產2024-09-13 10:28

美國進口 KRi 考夫曼離子源 KDC 160 硅片刻蝕清潔案例2024-09-13 10:10

inTEST 熱流儀車載顯示器高低溫光學測量應用2024-09-12 14:17

HiCube 80 Eco 分子泵組搭配低溫阻抗測試儀應用2023-12-08 14:29

SF6 密度繼電器氦質譜檢漏法2023-12-08 14:21

新能源汽車 IGBT 功率器件高低溫沖擊測試2023-12-01 15:48